UP-230 不锈钢腔体式薄膜制备装置
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- 品牌：优普莱
- 型号：UP-230
- 用途类型：多用
- 特性类型：其他
- 控制方式：自动
- 工作介质：混合气体等离子切割机
- 是否数控：是
UP-230 不锈钢腔体式薄膜制备装置
关键词：
等离子体,等离子体炬
适合的应用:
化学气相沉积法制备高品质单晶金刚石(基台直径5厘米);
化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石膜等各种碳纳米薄膜。
产品特点:
本产品为不锈钢腔体式5kw微波等离子体设备,功率密度高;
水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;
基片温度以微波等离子体自加热方式达到;
真空测量仪表采用全量程真空计,可精确测量本底真空和工作气体压强;
真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1x10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为6x10-2Pa),装置可调节高真空隔膜阀和并联高真空微调阀控制沉积气压;
配备冷却水循环系统,无水源要求,确保装置高功率下可长时间安全稳定运行;
PLC自动控制和手动操作两种操作模式,工艺流程可重复;
可配置沉积气压自动控制模块与全自动工艺控制模块,以便于稳定可靠地制备高品质金刚石薄膜和晶体。
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