多路质子流量混气系统
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多路质子流量混气系统
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我公司生产的多通道质子混气供气系统(主要产品是1-4通道混气供气),可将多种气体按一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制,流量计和混气罐都安装在一个移动柜内,而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统,也可为样品退火提供所需的气氛环境。
技术参数
设备名称 | 4通道供气系统GSL-4Z | 3通道供气系统GSL-3Z | 2通道供气系统GSL-2Z |
供气系统 | 工作电压:182-245V/50HZ 输出功率:18W 工作温度:5-45℃ 气压:3106Pa 精度:±1%FS 质量流量计量程: 1:0-100sccm 2:1-199sccm 3:1-199sccm 4:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计 | 工作电压182-245V/50HZ 输出功率:18W 工作温度:5-45℃ 气压:3106Pa 精度:±1%FS 质量流量计量程: 1:0-100sccm 2:1-199sccm 3:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计 | 工作电压:182-245V/50HZ 输出功率:18W 工作温度:5-45℃ 气压:3106Pa 精度:±1%FS 质量流量计量程: 1:1-199sccm 2:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计 |
移动柜 | 质量流量计和混气罐都安装在移动柜内 移动柜顶部可放置管式炉 承重量:227kg | ||
压力表量程 | -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) | ||
不锈钢截止阀 | 采用316不锈钢制作 | ||
气体连接管 | 采用1/4“的不锈钢管 仪器中配有1/4”的PTFE管 | ||
混气罐尺寸 | Φ80X120mm | ||
仪器尺寸 | 600x600x650 mm | ||
质保 | 一年质保期,终生维护 | ||
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