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扩散炉图片/价格/厂家--晨立

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  • 型号:CL-4514
  • 品牌:晨立
  • 规格:CL-4514
扩散炉图片/价格/厂家--晨立
关键词: 二手配电柜回收

产品名称:扩散炉图片/价格/厂家--晨立
产品链接: 手机版链接:扩散炉系列
  设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
  设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
  
  主要技术指标:
  炉管数:1~4管
  配工艺管口径:Φ90~360 mm(3~12英寸)
  恒温区长度:760~1000 mm±1.0℃(300~800℃)
  760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
  单点稳定性:±1.0℃/24h(300~800℃)
  ±0.5℃/24h(800~1280℃)
  气源路数:7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
  气体控制:浮子/质量流量计
  悬臂舟参数:速度:20~1000 mm/min
  行程:2000 mm
  定位精度:±1 mm
  载荷:17 Kg
  超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
  噪音:62dB(A)
  振动:3μm

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