EVO MA & LS系列基本规格 分辨率 3.0 nm(2nm) 30 kV SE和W(LaB6) 4.5 nm 30 kV BSD(VP模式) 15nm 30 kV 1nA, LaB6 20nm(15nm) 1kV SE和W(LaB6) 10nm 3kV SE 加速电压 0.2 - 30 kV 放大倍数 ﹤7 - 1,000,000 x / ﹤5 -1,000,000 x X射线参数 工作距离8.5 mm / 出射角35° OptiBeam模式 分辨率(Resolution)、景深(Depth)、分析(Analysis)、大视野(Field)、鱼眼(Fisheye) 压力范围 10 - 400 Pa(MA系列) 10 - 3000 Pa(LS系列) 可以使用的探测器 BSD -背散射电子探测器,多象限二极管ETSE-Everhart-Thornley 二次电子探测器 VPSE-可变压力二次电子探测器 SCD -样品电流探测器 EPSE-延伸可变压力二次电子探测器 图象处理 7种积分和平均模式 系统控制 基于Windows XP的SmartSEM SmartPI软件 完整的颗粒分析方案SmartPITM软件的设计用于常规样品大量的重复的分析,它可以自动地产生,分析及包含微粒大小、形状和化学组成等数据的报告。 在一个生成模式界面的引导,即使是一个不熟练的操作者也可以安装样品并选择一个事先设定的程序来进行分析和提供报告。 然后,SmartPITM软件在自动分析所有要求测试的样品之前,完成统一的标准和设置 ,并将结果生成一个统一规格的报告。 操作模式 自动设置SEM和X射线工作条件 可按操作界面的向导输入样品信息并选择分析程序 此后SmartPI程序将自动测量、分类并记录每个颗粒的尺寸、形状和化学组分,并生成颗粒报告 配置模式 简便易用的使用软件,可供用户灵活地设置颗粒扫描: SEM的设置与校准 样品夹具与扫描程序 图像处理与分析 EDS选择与控制 自动停止 报告模式 量身定制的数据报告 可追溯的数据处理 特殊调查时的单帧互动式分析