核工业理化工程研究院华核新技术开发公司

氟化物特种气体用于微电子、化工、机械制造、环境监测、医疗等领域,属于产业市场范畴。产品品种和质量要求相当高,是发展微电子工业技术必不可少的关键基础材料之一,氟化物特种气体作为其中重要的组成部分,在半导体集成电路、光导纤维及太阳能电池等制造过程中起着举足轻重的作用。我公司从上世纪80年代初开始,利用所取得的技术成果和掌握经验,为处于起步阶段的我国微电子工业超大规模集成电路研发和生产开发一些关键基础材料。七五开始正式承接国家重点科技攻关“超大规模集成电路制造工艺关键材料特种氟化物气体研制”项目。在八五至十五期间继续得到国家支持,相继承担了十多项应用于超大规模集成电路制造工艺的关键氟化物材料,填补了国内多项该领域的空白,取得了十多项先进技术成果。经过近二十年的不断发展,目前已形成了电解氟化、直接氟化、特殊微量气体杂质分析检测、低温精馏、高纯气体制造、高纯气体盛装容器处理及三废综合利用处理等完善的综合技术体系,总体技术水平居全国同行业前列,建立了氟化物新产品研发平台和一支优秀的研发队伍;多项产品技术完成了中试,具备进一步进行工业化开发条件,部分产品已具备规模生产能力。目前开发的重点项目有高纯四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、四氟化硅、五氟化碘、五氟化等。四氟化碳是一种重要的氟化物电子气体,以其优良的特性在液晶面板清洗工艺及超大规模集成电路制造刻蚀和清洗工艺等领域的应用越来越广,成为当今微电子工业半导体器件生产的重要关键原材料。公司经过十多年的艰苦攻关,投入了大量的人力物力,开发出了具有自主知识产权的生产、纯化、充装和分析检测技术,建成了年产100吨工业化示范装置,可为大工业生产提供技术支持和培训人员。核工业理化工程研究院华核新技术开发公司位于天津天津市,主营四氟化碳、五氟化碘、六氟化硫、三氟化溴、五氟化锑等。公司秉承“顾客至上,锐意进取”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。欢迎惠顾!