深圳帝研厂家 全新立式高速减薄机
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型号:DY-380MX
主要用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片光学玻璃、石英晶体、其它半导体等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的调整减薄。
设备特点:
1. 设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损 厚度尺寸,可鸽直径150晶片减薄到0.08mm厚而不会破碎,而且平衡度可控制 在上下0.002mm范围内 。
2. 减薄效率高,LED蓝宝石衹第分钟磨削速度高可减薄-48微米。硅片第分钟磨削速度高可被减薄250微米。
3.吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320mm-600mm。
4.砂轮主轴采用精密的调整旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由OLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。
5.砂轮进给模式三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果。
6.对刀方式 改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同的厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作。不需要每次都要对刀。
7.本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同的材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式面相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精密度高分辨率光栅尺检测。
8.本机采用的台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。
设备参数:
吸盘规格 :Φ320xΦ600
主电机:2.2KW/0·280RPM
砂轮规格:Φ150xΦ210
砂轮进给伺服主机:750W
减薄工件厚度b:0.8mmb50mm
高速旋转主轴:4KW/3000-8000RPM
减薄平行度:2um(50x50)
砂泵电机/冷却电机:AB-100 250W
研磨工件理想规格:Φ50
分辨率:0.001mm
磨轮重复定位精准:3um
工作工位:依据产品而定
外形尺寸LxWxH:1150x200x1750mm
设备重量:700KG
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