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供应真空镀膜冷冻机,PVD镀膜冷阱 低温冷冻帮捕

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-145℃水汽捕集泵   -145℃ Water vapor cryopump
    水汽捕集泵 又称:POLYCOLD、循环水汽深冷泵
应用原理:
    在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
    深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类(见图):
1、水汽捕集器
    它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。  
2、低温冷阱
    放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
    根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.
    
   本公司研发生产的-145℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于地位,达到甚至超过水平。
  主要的性能特点 
1、吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,可到-150℃; 
3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 
4、一台设备可设计两路负载输出; 
5、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制;
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温  度显示;
8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷;
9、除霜温度自由设定; 
10、具有水温温度、排气温度显示; 
11、缺水、水温过高报警;   
12、压缩机排气过高、压力过高保护; 
13、电源断电、缺相报警; 
14、可本地、远程控制自由转换; 
15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。

技术参数:
型号:TH-145-5P,压缩机功率:4.6KW,工作温度:-120至-150度,抽气速度:51000L/s,制冷量:500,冷凝管面积:0.2m2,冷凝管长度:6m直径12mm,预冷时间:小于等于30min,降温时间:小于等于3min,除霜时间:小于等于3min,再降温时间:小于等于3min,适用油扩散泵径:小于等于500mm,冷却方式:水冷(t小于等于20度)
型号:TH-145-7P,压缩机功率:6.3KW,工作温度:-120至-150度,抽气速度:73000L/s,制冷量1200,冷凝管面积:0.5m2,冷凝管长度:12m直径12mm,预冷时间:小于等于30min,降温时间:小于等于3min,除霜时间:小于等于3min,再降温时间:小于等于3min,适用油扩散泵径:小于等于800mm,冷却方式:水冷(t小于等于20度)
型号:TH-145-10P,压缩机功率:8.5KW,工作温度:-120至-150度,抽气速度:101000L/s,制冷量:1800,冷凝管面积:0.7m2,冷凝管长度:14m直径16mm,预冷时间:小于等于30min,降温时间:小于等于3min,除霜时间:小于等于3min,再降温时间:小于等于3min,适用油扩散泵径:小于等于1000mm,冷却方式:水冷(t小于等于20度)
型号:TH-145-12P,压缩机功率:10.1KW,工作温度:-120至-150度,抽气速度:153000L/s,制冷量::2500,冷凝管面积:0.9m2,冷凝管长度:18m直径16mm,预冷时间:小于等于40min,降温时间:小于等于4min,除霜时间:小于等于3min,再降温时间:小于等于6min,适用油扩散泵径:双路输出,冷却方式:水冷(t小于等于20度)
型号:TH-145-12P,压缩机功率:12.3W,工作温度:-120至-150度,抽气速度:250000L/s,制冷量::3500,冷凝管面积:1.5m2,冷凝管长度:30m直径16mm,预冷时间:小于等于40min,降温时间:小于等于5min,除霜时间:小于等于3min,再降温时间:小于等于6min,适用油扩散泵径:双路输出,冷却方式:水冷(t小于等于20度)

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