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管式真空炉用于真空条件下集成电路、电力电子器件生产线对所生产产品进行烧结、合金、退火、焊接等工艺处理。具有控温精度高,降温速度快等特点。
管式真空炉技术指标:
u石英管真空室:13室
u真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
u工作温度: <1300℃
u控温精度:±1℃
u等温区长度:根据工艺要求
u口径:Φ80mm~Φ280mm
u控制方式:程控、微控
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